轉(zhuǎn)子設(shè)計和怠速功能，實現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應(yīng)用，從負載鎖和 SEM 等輕負載應(yīng)用到腐蝕性工藝。

特長
通過寬范圍溫度控制實現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應(yīng)對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應(yīng)應(yīng)用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

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IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機

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RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等